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在線熱偶真空計(jì) 型號(hào):ZXHD/VMG0527

在線熱偶真空計(jì) 型號(hào):ZXHD/VMG0527

簡(jiǎn)要描述:
在線熱偶真空計(jì) 型號(hào):ZXHD/VMG0527

技術(shù)指標(biāo):
測(cè)量范圍: 100kPa~0.1Pa
測(cè)量精度:100KP~500Pa: 5%-3-500P~1Pa: 10%<1Pa: 20%
工作電壓: 12-24VDC
功率: <1.5瓦
控制觸點(diǎn)(可選組件):2組 TTL級(jí)

產(chǎn)品時(shí)間:2024-07-11

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在線熱偶真空計(jì) 型號(hào):ZXHD/VMG0527

這個(gè)系列自帶 2英寸 240X320液晶點(diǎn)陣顯示模塊,可以在現(xiàn)場(chǎng)讀出真空系統(tǒng)的狀態(tài)。傳感器為壓阻-熱導(dǎo)復(fù)合,綜合了壓阻在 500Pa以上不受氣體種類影響|高|精度,熱導(dǎo)在 500Pa以下寬量程.
真空規(guī)應(yīng)用場(chǎng)合:本真空規(guī)應(yīng)用于工業(yè)應(yīng)用、科研院所、半導(dǎo)體行業(yè)需要測(cè)量粗低真空的場(chǎng)合:一般真空壓力測(cè)量。前級(jí)管道和粗低真空壓力測(cè)量。氣體回填測(cè)量和控制。質(zhì)譜儀控制。啟動(dòng)高真空電離規(guī)。系統(tǒng)過程控制。檢測(cè)異常壓力,利用繼電器設(shè)提供系統(tǒng)安|全措施 控制系統(tǒng)壓力。PVD、CVD氣相沉積鍍膜硅單晶生長(zhǎng)
在線熱偶真空計(jì) 型號(hào):ZXHD/VMG0527

技術(shù)指標(biāo):
測(cè)量范圍: 100kPa~0.1Pa
測(cè)量精度:100KP~500Pa: 5%-3-500P~1Pa: 10%<1Pa: 20%
工作電壓: 12-24VDC
功率: <1.5瓦
控制觸點(diǎn)(可選組件):2組 TTL級(jí)
通訊方式(可選組件):RS485
模擬輸出(可選組件):隔離輸出 4~20mA。

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